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  • 分析:硅压力传感器向微型化发展

    微电子机械加工技术,包括体微机械加工技术 表面微机械加工技术 LIGA技术(X光深层光刻 微电铸和微复制技术) 激光微加工技术和微型封装技术等。MEMS的发展,把传感器的微型化 智能化 多功能化和可靠性水平提高到了新的高度。传感器的检测仪表,在微电子技术基础上,内置微处理器,或把微传感器和微处理器及...

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